Ideaalsed söövitusprotsessi omadused

Ideaalsel söövitusprotsessil peaks olema järgmised võtmeomadused, et täita pooljuhtide tootmise ja muude mikro nano töötlemisväljade ülitäpseid nõudeid:

① anisotroopne söövitus, mis tähendab ainult vertikaalset söövitamist ilma külgmise puurimiseta . ainult sel viisil saame tagada geomeetriliste kujundite täpse replikatsiooni identsed söövitatud kile vastupanuga;
② Hea söövitamise selektiivsus tähendab, et maskina ja selle aluseks oleva õhukese kile või materjalina kasutatava vastupidavuse kiiruse on palju madalam kui söövitatud õhukese kile, et tagada vastupidavuse maskeerimise tõhusus söövitusprotsessi ajal ja vältida teiste õhukese all olevate materjalide kahjustusi, mis on tingitud õhukese kile all;
③ Suured töötlemispartiid, lihtne kontroll, odav, minimaalne keskkonnareostus, mis sobib tööstuslikuks tootmiseks .